ダイシング
ダイシング工程では、純水を使って基板、ウェハを切断する湿式ダイシングと、純水を使わず基板を切断する乾式ダイシングに対応可能です。
対応仕様 【湿式ダイシング（基板）】
| リングサイズ | 6インチ |
|---|---|
| 8インチ矩形リング | |
| 基板サイズ | 6インチ MAX ： 115 (L) × 73 (W) mm |
| 8インチ矩形 (１枚貼り) MAX ： 150 (L) × 120 (W) mm |
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| 8インチ矩形 (２枚貼り) MAX ： 120 (L) × 73 (W) mm |
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| その他サイズについては、ご相談ください |
対応仕様 【湿式ダイシング（ウェハ）】
| リングサイズ | 対応仕様については、ご相談ください |
|---|---|
| ウェハサイズ |
対応仕様 【乾式ダイシング（基板）】
| リングサイズ | 8インチ矩形リング |
|---|---|
| 基板サイズ | MAX ： 150 (L) × 120 (W) mm |
| カットライン幅 | MIN ： 0.3 mm |
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| ピックアップ | トレイ収納 |
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